Horisontaalne toru ahi
2.Lab kasti ahju seadmed: 1l -36 l
3. Temperatuur võib jõuda 1200 kraadi -1700 kraadi
*** Ülaltoodud hinnakirjade nimekiri küsige meid, et saada
Kirjeldus
Tehnilised parameetrid
SissejuhatusHorisontaalne toru ahi, on see kütteseadmed, mida kasutatakse laialdaselt materjaliteaduses, keemiatehnoloogias, pooljuhtide tootmises ja muudes põldudes. Selle struktuurne omadus seisneb ahjutorude horisontaalses paigutuses, mida soojendavad kütteelemendid, et töödelda ahjutorude sees olevaid materjale. See soojendab proovi horisontaalselt paigutatud ahjutorude kaudu, millel on täpse temperatuurikontrolli, ühtlase kuumutamise ja hõlpsa töö eelised.
Eriti pooljuhtide tootmisel on sellel mitmesuguseid rakendusi ja oluline väärtus. Selle ainulaadne struktuur ja funktsioon muudavad selle väga väärtuslikuks sellistes rakendustes nagu räni vahvli lõõmutamine, kuumtöötlus, metallimisprotsess, söövitusprotsess ja pakendiprotsess. Samal ajal muudavad selle ülitäpse juhtimise, ülitõhusa töötlemise, hea kohanemisvõime ja suurepärase stabiilsuse selle ka pooljuhtide tootmisel väga usaldusväärseks ja stabiilseks.
Parameeter
Tööpõhimõte
Tööpõhimõte ahorisontaalne toru ahipõhineb soojusjuhtivuse ja konvektsiooni põhimõtetel. Kui kütteelemendile lülitatakse kuumutamiseks, kantakse kuumus ahjutorusse ja proovis läbi termilise juhtivuse, ahju kuum õhk jaotab soojuse ühtlaselt kogu konvektsiooni kaudu.
Kütteprotsess:
Pärast kütteelemendi sisselülitamist genereerib see soojuse ja kannab selle ahjutorusse. Pärast ahjutoru kuumutamist annab see soojuse sisemusse. Ahju toru suurepärase soojusjuhtivuse tõttu võib proov kiiresti jõuda seatud temperatuurile.
Temperatuurikontroll:
Temperatuuri juhtimissüsteem jälgib temperatuuri ahjus reaalajas ja reguleerib kütteelemendi võimsust, tuginedes erinevusele seatud temperatuuri ja mõõdetud temperatuuri vahel. Kui mõõdetud temperatuur on kõrgem kui seatud temperatuur, vähendab kontroller kütteelemendi võimsust; Kui mõõdetud temperatuur on määratud temperatuurist madalam, suurendab kontroller kütteelemendi võimsust. Kütteelemendi võimsust pidevalt reguleerides saab temperatuuri ahju sees hoida konstantsena.
Atmosfääri juhtimine:
Atmosfääri juhtimissüsteem kontrollib atmosfääri keskkonda ahju sees, reguleerides gaasi voolukiirust ja tüüpi. Näiteks pooljuhtide tootmisprotsessis on vaja kontrollida hapniku ja veeauru sisaldust ahju sees, et vältida proovi oksüdeerumist ja saastumist. Atmosfääri juhtimissüsteem saab protsessinõuete täitmiseks täpselt atmosfääri keskkonda.
Horisontaalse torude eriline kasutamine on pooljuhtide tootmisel
Horizntal toru sisustusel on pooljuhtide tootmisel lai valik rakendusi ning selle ainulaadne struktuur ja funktsioon muudavad selle üheks asendamatuks seadmeks pooljuhtide töötlemisprotsessis.
Põhistruktuur ja tööpõhimõte
Horizntal toru sisustus on tavaliselt kasutatav pooljuhtide töötlemisseadmed, mis näeb välja nagu pikk toru ja mille sees on kõrgtemperatuuriga reaktsioonikamber. Seade võtab kasutusele atmosfääri juhtimismeetodi ja parima töötlemisefekti saavutamiseks saab erinevate töötlemisnõuete järgi valida erinevad atmosfääri keskkonnad.
Peibutoru sisustus on ahju õõnsuse sees olevate reagentide soojendamine, põhjustades nende keemilisi reaktsioone või füüsilisi muutusi kõrgetel temperatuuridel, saavutades sellega töötlemise eesmärgi. Pooljuhtide tootmisel kasutatakse horisontaalseid torusid peamiselt räni vahvlite lõõmutamiseks ja kuumtöötluseks.
Rakendus räni vahvli lõõmutamisel
Parandada räni vahvli võre terviklikkust
Silicon Wafer on üks olulisi materjale pooljuhtide tööstuses ning selle kvaliteet ja jõudlus mõjutavad otseselt pooljuhtide seadmete usaldusväärsust ja jõudlust. Töötlemise ajal on räni vahvlid stressi tõttu teraviljapiiri venitamiseks, mis võib põhjustada räni kristallide luumurdu ja kahjustusi. Kõrgtemperatuuriliste lõõmutamise kaudu sööbis ahjus saab räni vahvli pinge eemaldada, hoides seda puutumatuna ja vältides räni vahvli laki kahjustusi.
Lõõmustamisprotsessi käigus asetatakse räni vahvel sisikust toru ahju ja hoitakse teatud aja jooksul kõrgel temperatuuril, vabastades järk -järgult räni vahvli sisemise pinge ja redigeerides võre ümber, parandades seeläbi räni vahvli võre terviklikkust.
Räni vahvlite elektriliste omaduste parandamine
Ränivahvlite elektrilised omadused on üks peamisi tegureid, mis mõjutavad pooljuhtide seadmete jõudlust. Lihtsa ahjus lõõmutades saab parandada räni vahvlite elektrilisi omadusi ning nende juhtivust ja stabiilsust saab parandada.
Lõõmustamisprotsessi käigus reageerib räni vahvel atmosfääriga ahju sees kõrgel temperatuuril, eemaldades oksiidi räni vahvli pinnalt ja aktiveerides lisaainete aatomid räni vahvli sees, parandades sellega selle elektrilisi omadusi.
Oksiidide eemaldamine räni vahvlite pinnalt
Räni vahvlite pind sisaldab sageli oksiide, mis võivad mõjutada nende juhtivust ja stabiilsust. Tootmisprotsessi ajal on vaja eemaldada oksiidid räni vahvlite pinnalt, et tagada nende tasasus ja sujuvus, parandades seeläbi pooljuhtseadmete jõudlust.
Horiontaalne toru ahi võib atmosfääri juhtimise kaudu eemaldada räni vahvlite pinnalt oksiidid. Lõõmustamisprotsessi ajal reageerib ahju sees olev atmosfäär räni vahvli pinnal oleva oksiidiga, et tekitada lenduvaid aineid, mis seejärel lastakse läbi ahju väljalaskeava süsteemi, et saavutada eesmärk oksiidi eemaldamise.
Rakendamine räni vahvli kuumtöötluses
Legeeritud räni vahvlite kontroll
Pooljuhtide seadmetes on erinevate elektriliste jõudlusnõuete tõttu vaja erinevate materjalidega leotatud räni vahvleid. Peibutoru ahi saab kasutada erinevaid atmosfääri juhtimisparameetreid räni vahvlite astme ja sügavuse juhtimiseks, et täita räni vahvli dopingu erinevate seadmete nõudeid.
Dopinguprotsessi ajal asetatakse räni vahvel silmastpoolt toru ahju ja ahju sees olev atmosfäär reageerib räni vahvliga, võimaldades legeeritud aatomitel siseneda räni vahvli sisemusse. Reguleerides ahju sees selliseid parameetreid nagu atmosfäär ja temperatuur, saab soovitud dopingufekti saavutamiseks juhtida leotatud aatomite arvu ja jaotust.
Õhukeste kilede valmistamine räni vahvli pinnale
Pooljuhtide tootmisel on mõnikord vaja valmistada õhuke kile räni vahvli pinnale, et parandada selle jõudlust või saavutada konkreetseid funktsioone. Räni vahvlite pinnale võib õhukese kile ettevalmistamiseks kasutada horisozntal toru ahju.
Õhukese kile ettevalmistamise käigus asetatakse räni vahvel horisontaalse toru frnace'i sisse ja ahju sees olev atmosfäär reageerib räni vahvli pinnaga kõrgel temperatuuril, et genereerida soovitud õhuke kile. Kohandades ahju sees selliseid parameetreid nagu atmosfäär, temperatuur ja reaktsiooniaeg, saab kontrollida kile paksust, koostist ja omadusi.
Räni vahvlite oksüdatsioon ja nitristamine
Ränivahvlite oksüdeerimine ja nitridatsioon on olulised protsessi etapid pooljuhtide tootmisel. Räni vahvlite oksüdeerimiseks ja nitriidi raviks saab kasutada horisontaalset toru ahju.
Oksüdatsiooniprotsessi ajal asetatakse räni vahvel horisondi toru ahju ahjukambrisse ja ahjukambris olev hapnik reageerib räni vahvli pinnaga kõrgel temperatuuril, moodustades ränidioksiidkile. Reguleerides selliseid parameetreid nagu hapniku kontsentratsioon, temperatuur ja reaktsiooniaeg ahju sees, saab kontrollida ränidioksiidkile paksust ja omadusi.
Nitriidiprotsessi ajal asetatakse räni vahvel horisortioni toru ahju sisse ja ahju sees olev lämmastikugaas reageerib räni vahvli pinnaga kõrgel temperatuuril, moodustades räni nitriidi kile. Räni nitriidi õhukestel kiledel on suurepärane kulumiskindlus, korrosioonikindlus ja kõrgtemperatuuriga stabiilsus, mida saab kasutada räni vahvlite pinna kaitsmiseks või konkreetsete funktsioonide saavutamiseks.
Muud horisontaalse toru ahju rakendused pooljuhtide tootmisel
Metallisatsiooniprotsess
Metalliseerimisprotsess on üks olulisi samme pooljuhtide tootmisel, mida kasutatakse räni vahvlitel metallielektroodide või juhtmete moodustamiseks. Metallimisprotsessides saab töötlemiseks kasutada horisontaalseid toru ahjusid metallielektroodide või juhtmete adhesiooni ja stabiilsuse parandamiseks.
Lõõmustamisprotsessi ajal asetatakse metallitud räni vahvel horisondi toru ahju ahjukambrisse ja hoitakse teatud aja jooksul kõrgel temperatuuril, et muuta sidumine metallielektroodi või traadi ja ränivahvli vahel tihedamalt, parandades sellega selle adhesiooni ja stabiilsust.
Söövitusprotsess
Söövitusprotsess on samm pooljuhtide tootmisel, et eemaldada liialiine räni vahvlite pinnalt. Pärast söövitusprotsessi söövitamist saab töötlemiseks kasutada horisontaalset toru ahju.
Lõõmustamisprotsessi käigus asetatakse söövitatud ränivahver horisoriznt -toru ahju sisse ja hoitakse teatud aja jooksul kõrgel temperatuuril, vabastades järk -järgult räni vahvli sisemise pinge ja redigeerides võre ümber, eemaldades sellega söövitusprotsessi ajal tekitatud kahju ja stressi.
Pakendiprotsess
Pakendiprotsess on pooljuhtide tootmise viimane samm, mida kasutatakse kapseldamiseks pooljuhtide seadmete kapseldamiseks kaitsekoorides, et parandada nende töökindlust ja stabiilsust. Pakendiprotsessides töötlemiseks saab töötlemiseks kasutada horisontaalset toru ahju, et eemaldada pakendiprotsessi käigus tekkiv stress ja kahjustused.
Lõõmustamisprotsessi käigus asetatakse pakendatud pooljuhtide seade horisontaalse toru ahju sisse ja hoitakse teatud aja jooksul kõrgel temperatuuril, et pakendimaterjali sisene stress järk -järgult vabastada, võre ümber korraldada ja pakendiprotsessi käigus tekkiva stressi ja kahjustusi eemaldada.
Vähendage heitgaaside temperatuuri-täiustatud soojuslikku efektiivsust
Optimeeritud konvektsioonisektsiooni kujundamine
Suurendada konvektsioonitorude arvu
Suurendades konvektsioonitorude arvu, saab laiendada suitsugaasi ja küttepinna vahelist kontaktpinda, et parandada soojusvahetuse tõhusust ja vähendada heitgaaside temperatuuri.
Optimeeritud konvektsioonitoru paigutus
Konvektsioonitoru mõistlik paigutus muudab suitsugaasi soojuse hõivamise ja ülekandmise tõhusamaks. Näiteks saab torus suitsu voolutee ja elamise aja suurendamiseks kasutada järkjärgulist paigutust või spiraalset paigutust.
Parandage küttepinna efektiivsust
Kasutage tõhusaid soojusülekandematerjale
Soojuse vahetuse tõhususe parandamiseks valige küttepindade, näiteks roostevaba teras, vasksulami jne, valmistamiseks kõrge soojusjuhtivusega materjalid.
Hoidke küttepind puhtana
Puhastage regulaarselt küttepinna tolm ja mustus ning hoidke selle pind puhtana, et parandada soojusülekande efektiivsust. Tolmu akumuleerumine ja mustus vähendavad kuumutuspinna soojusülekande jõudlust, mille tulemuseks on heitgaaside temperatuur.
Reguleerige põlemisprotsessi
Liigse õhuteguri mõistlik kontroll
Õhu ülemäärane koefitsient on tegeliku õhuvarustuse ja teoreetilise õhuvarustuse suhe. Liigse õhukoefitsiendi mõistlik kontroll, vältige liiga palju õhu ahju, võib vähendada suitsu mahtu, vähendades seeläbi heitgaaside temperatuuri.
Parandage kütuse põlemise tõhusust
Põleti konstruktsiooni optimeerimisega ja põlemisparameetrite, näiteks kütuse sissepritsekiiruse ja põlemiskambri temperatuuri reguleerimisega saab parandada kütuse põlemise efektiivsust ja mittetäieliku põlemiskütuse kogust vähendada, vähendades seega heitgaaside temperatuuri.
Suurendage soojuse taastamise seadmeid
Paigaldage õhu eelsoogus
Õhu eelsoojend saab kasutada suitsugaasi jäätmete soojust ahju siseneva õhu eelsoojendamiseks, parandades seeläbi põlemise efektiivsust ja vähendades heitgaaside temperatuuri.
Seadistage jäätmete soojuskatla
Jäätmete soojuskatla saab suitsugaasis oleva heitveo soojuse taastada ja muuta selle kasulikuks energiaks, näiteks auruks või kuuma veeks, vähendades seeläbi heitgaaside temperatuuri ja parandades energia kasutamise efektiivsust.
Muud meetmed
Tugevdada isolatsioonimeetmeid
Horisontaalse toru ahju ahju korpuse hea soojuse säilitamise töötlemine võib soojuskadu vähendada ja vähendada heitgaaside temperatuuri.
Regulaarne hooldus ja hooldus
Horisontaalse toru ahju regulaarne hooldus ja hooldus, näiteks küttepinna kontrollimine, tuha puhastamine, põlemisparameetrite reguleerimine, võib tagada selle normaalse töö ja vähendada suitsu väljalasketemperatuuri.
Tuleb märkida, et suitsu heitgaaside temperatuuri vähendamise protsessis tuleb põhjalikult kaaluda selliseid tegureid nagu majandus, ohutust ja usaldusväärsust. Samal ajal on vaja valida ka sobivad meetmed ja meetodid vastavalt konkreetsetele protsessinõuetele ja töötingimustele.
Lisaks, kui heitgaaside temperatuur on liiga madal, võib see põhjustada soojusvahetuse pinnal madala temperatuuri kastepunkti korrosiooni. Seetõttu tuleb heitgaaside temperatuuri valimisel kaaluda selliseid tegureid nagu soojuslikku efektiivsust ja seadmete eluiga, et tagada heitgaaside temperatuur soojuskadu, ilma et seadmeid kahjustaks.
Kuum tags: horisontaalne toru ahi, Hiina horisontaaltorude tootjad, tarnijad, tehas
Järgmise
Tükeldatud toru ahiKüsi pakkumist
Ju gjithashtu mund të pëlqeni
